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雙頻激光干涉儀原理
發(fā)布時間:2021-08-16瀏覽次數(shù):595

雙頻激光干涉儀原理。

  雙頻激光干涉儀原理了解嗎?接下來小編為大家介紹一下。


  根據(jù)塞曼效應(yīng)、牽引力效應(yīng)和多普勒效應(yīng),研究了雙頻激光干涉儀干擾原理。全腔He-Ne激光軸向磁場約為0.03T。由于塞曼效應(yīng)和牽引力效應(yīng),發(fā)射出包含兩個不同頻率的左右旋轉(zhuǎn)偏振光,其頻率差約為1.5兆赫。光束經(jīng)過1/4波片后變成兩條相互垂直的線偏振光,然后通過平行光管準直擴展。這種光由平行光管發(fā)出,通過析光鏡反射出一小部分作為參考光束通過45°放置的偏振器。從馬呂斯定律可以看出,垂直方向的兩個線偏振光在45°方向投影,形成新的線偏振光,產(chǎn)生拍頻。這個拍頻率正好相當于激光器發(fā)出的兩個光頻之間的差(f1-f2),大約是1.5兆赫。接收通過光電子元件進入前置放大器和計算機。其他部分從析光鏡中向偏振分發(fā)出。


在雙頻激光干涉儀中,雙頻作為調(diào)頻信號,被測信號只是簡單的疊加在這個副載波上,副載波和被測信號一起接收并轉(zhuǎn)換成電信號。


以上就是小編為大家介紹的全部內(nèi)容,希望對大家能有所幫助。


感謝大家耐心看完雙頻激光干涉儀小編分享的文章,如果有需要了解更多雙頻激光干涉儀及光刻機干涉儀的相關(guān)知識,歡迎聯(lián)系我們,鐳測24小時竭誠為您服務(wù)!



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